Die erste ist nach dem Aufbau in mechanische Vakuumpumpe und Strahlvakuumpumpe zu unterteilen. Alle mechanischen Bewegungen (rotierend oder gleitend), die in verschiedenen Vakuumgeräten zum Ändern des Volumens des Pumpensaugbehälters und der Vakuumpumpe verwendet werden, werden üblicherweise als mechanische Vakuumpumpen bezeichnet. Die mechanische Volumenvakuumpumpe ändert das Arbeitsvolumen der Pumpenkammer durch mechanische Bewegung, um die Wirkung der mechanischen Volumenvakuumpumpe zu erzielen. Diese Pumpen umfassen Kolbenvakuumpumpen, rotierende mechanische Pumpen (einschließlich Rotationspumpen, Schneckenpumpen, Wälzkolbenpumpen, Flüssigkeitsringpumpen usw.). Dieser Pumpentyp wird zusätzlich zur mechanischen Pumpe verwendet.
Zum anderen kann es nach dem Arbeitsprinzip in eine Gasförder-Vakuumpumpe und eine Gasfallen-Vakuumpumpe unterteilt werden. Eine Gasförderpumpe ist ein Ziel, durch das Gas kontinuierlich angesaugt und ausgetragen werden kann, um die Saugvakuumpumpe zu erreichen. Es gibt zwei Arten von Vakuumpumpen: Vakuumpumpen mit variablem Volumen und Impulsübertragungspumpen. Die Gaseinfangpumpe ist eine Vakuumpumpe, die Gasmoleküle an der Innenfläche der Pumpe adsorbiert oder agglomeriert, wodurch die Menge der Gasmoleküle im Behälter verringert und der Zweck des Absaugens erreicht wird. Kolbenvakuumpumpen, Drehschiebervakuumpumpen, Vakuumpumpen, Schraubenvakuumpumpen, Vakuumpumpen, Diffusionspumpen, Einspritzpumpen und einige andere typische Typen.
